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旭硝子开发出再布线层用感光性绝缘膜

旭硝子面向半导体制造工序中的再布线层，新开发出了感光性绝缘膜“AL Polymer X2000系列”。通过均衡实现热特性、电气特性及机械特性，提高了易用性。将用作钝化绝缘膜，在其上再布线及设置电极等。

该绝缘轴芯膜采用旭硝子的氟化学技术开发而成。兼具可不向元器件施加负担的低温硬化特性（热处理温度＋180～250℃）、可提高速度的低介电率特性（相对介电率2。6～2。7）以及可提高接合可靠性的高拉伸特性（伸度20清洗枪％）。此外，还具有高解像度、平坦及低吸水性，因此可用于趋于微细化及高速化的半导体电路的开发及制造。

本品将在旭硝子的千叶工厂滑块质量：200g（规范）进行生产，2009年1月开始销售。

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